單晶爐（lú）冷卻循環係統-冷水機（jī）的應用範圍

客（kè）戶案例--單晶爐冷卻循環係統-冷水機的應用

高價值整體製冷方案解決（jué）

單晶爐是一單晶爐是（shì）一種（zhǒng）在（zài）惰性氣體（氮氣、氦氣（qì）為主）環境中,用石墨（mò）加熱器將（jiāng）多晶矽等多晶材料熔化。用直拉法（fǎ）生長無錯（cuò）位單晶的設備。單晶爐對溫度又（yòu）有及其嚴格的溫度要求（qiú）。例如：爐體（tǐ）加工溫度，如果（guǒ）爐體溫度得不到（dào）有效的控製，爐（lú）體因（yīn）溫度過高會產生形變。勢必影響（xiǎng）設備尺寸變化，造成不合格產品的出現；同時爐體材料（liào）長期高溫工（gōng）作（zuò），冷熱不均會降低爐體（tǐ）壽命，造成損失（shī）。

這就需要專業穩（wěn）定的（de）冷卻水係統，來滿足單（dān）晶爐的降溫冷卻需求，才能維持爐體設備正常工作，不至於發生因爐體設備溫度過高，造成設備變形，影響矽（guī）晶體的生長。

深圳達沃西提供（gòng）冷水機有價值（zhí）的製冷係（xì）統工程解決方案

水冷螺杆（gǎn）式冷水機方案

水（shuǐ）冷真空爐（lú）係統多采用開式（shì）循環係統。係統由循環水（shuǐ）池，冷卻水循環泵（bèng），應急冷卻水箱，板式換（huàn）熱（rè）器等組成。係統中（zhōng）比較關鍵的是需要設置一座有效容積較大的循環水池，此水池在係統正常（cháng）運轉時僅作為水泵（bèng）吸水池使用，在停電（diàn）等緊急情況下，冷水（shuǐ）機（jī）或冷（lěng）卻塔停止運行，無法為真（zhēn）空爐係統提供（gòng）冷媒的時候，冷卻水循環泵配備應急電繼續工作，將管網及水池內（nèi）水繼續打循環，因水的比熱大於矽的比熱，利用循環水池內（nèi）的水把鑄錠爐中高溫（wēn）矽的（de）熱量吸收掉（diào），從而把鑄錠爐（lú）的溫度降下來，保證爐體不至於在停電的時候產生損壞甚至爆炸危險。循環水池的儲水容量的確定即根據將係統中所有爐體內的矽料降溫至（zhì）安全溫（wēn）度的時候，水池中的水的溫度不至於升高到冷卻水係統管網及設備不耐受的程度。冷卻水係統必須要為真空爐循環水泵配應急電源，此（cǐ）應急電源一般采用柴油發（fā）電（diàn）機，為了保證在柴油（yóu）發（fā）電（diàn）機啟動之前，爐體內仍然有冷卻水流過，一般會在真空爐（lú）係（xì）統中設置一座（zuò）高位（wèi）應急（jí）冷卻水（shuǐ）箱，此水箱中的水在係統停電時，依靠重（chóng）力流經（jīng）爐體對爐（lú）體進行冷卻。循環係統流（liú）程見圖1。

XX大（dà）學材料學院真空爐配套方案

　 　以上是對鑄錠（dìng）爐真空（kōng）爐係統的大概描述。而因項目所在地域的不同，會采（cǎi）用不同的方式作為真空（kōng）爐係統的冷媒，以節約運行費用，鑄錠爐冷卻水進水溫度一般要求≤30℃，所以當（dāng）項目所在地的（de）夏季濕球溫度較低（dī）的時候，可以僅采用冷卻塔作為冷媒，就能滿足鑄錠爐（lú）冷卻水進水溫度的要求；而當項目（mù）所在地區夏（xià）季濕球溫度較高時，則需要冷水機組提供冷媒才能滿足鑄錠爐冷卻水進水（shuǐ）溫度的要求（qiú）。下麵筆（bǐ）者（zhě）就這兩種係統進（jìn）行介紹。

　　係（xì）統一：西（xī）北等夏（xià）季濕球溫度較低的地（dì）區（qū）。此類地區夏季濕球溫度可≤24℃，冷卻塔夏季出水溫度可≤28℃，則可由冷卻（què）塔的出水作為冷媒，通過板式換熱（rè）器將真空爐水溫降至（zhì）≤30℃，從而（ér）滿足鑄錠爐真空爐進水溫度≤30℃的要求。但需要注意，在風沙較大地區，氣候環境惡劣，普通的開式塔容易受到風（fēng）沙的影響，選用閉式冷卻塔較為合適。此係統比較節能。

　　係（xì）統二：中南部等夏季濕球溫度較高的地區，則可采用兩級板式換熱器冷卻的方式提（tí）供鑄錠用的冷卻水（shuǐ），一級板式換熱器的一次側冷源采用冷卻水（由冷卻塔（tǎ）製取（qǔ）），二級板式換熱器（qì）的一次（cì）側（cè）冷源采用冷凍水（由冷凍機（jī）製取（qǔ）），冬季及（jí）過渡（dù）季節，不開冷凍機，僅開冷卻塔，用冷卻塔的出水作為冷媒。夏季及過渡季節時，鑄錠爐的冷卻水出水先經過一（yī）級板（bǎn）式換熱器換熱，水溫降低一定的幅度後，再進入二級板式換熱器，由冷凍水作（zuò）為冷媒將真空爐冷卻至鑄錠爐（lú）要求（qiú）的入口溫度。