在半導體生產中,特別是在物理和化學氣相沉積、蝕(shí)刻等工藝中,需要溫度控製設備來(lái)控製溫度。半導體冷水機組是(shì)一種特殊的製冷設備,可以精確控製負載溫(wēn)度,實現過程範圍(wéi)內的溫度控製。在這方麵,卡得利相當不錯,富士康和華為的直接或間接企(qǐ)業都可以使(shǐ)用。
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